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    全部分類
    四氟化碳

    四氟化碳

    分子式:
    CF4
    分子量:
    產品分類:
    電子氣體
    產品純度:
    99.999%
    包裝說明:
    鋼瓶
    充裝壓力:
    閥門型號:
    CAS:
    75-73-0
    充裝量:
    四氟化碳
    產品描述
    應用領域
    產品優勢
    聯系方式

    紐瑞德特氣高純四氟化碳相關參數


      產品名稱:四氟化碳 四氟化碳氣體 四氟甲烷 全氟化碳
      產品等級:分析純
      產品純度:99.999%
      包裝規格:40L
      英文名稱:carbon tetrafluoride
      英文別名:Tetrafluoromethane
      CAS:75-73-0
      EINECS:200-896-5
      分子式:CF4
      分子量:88
      物化性質:- 熔點:-184℃

     

    高純四氟化碳充裝標準


     

    序號 名稱 化學式 純度(%) 壓力(Mpa) 充裝量(m3/kg) 閥門|螺紋出口  鋼瓶容積(L) 鋼瓶尺寸(cm) 鋼瓶皮重(kg)
    1 四氟化碳/R14 CF4 99.999 4 28公斤 PX-32|G5/8 40 29×145 50
    2 四氟化碳/R14 CF4 99.999 4 30公斤 CGA580 44 29×145 53
    3 四氟化碳/R14 CF4 99.999 4 5公斤 PX-32|G5/8 8 22×70 10
     

    四氟化碳合成方法


      1.由碳與氟反應,或一氧化碳與氟反應,或碳化硅與氟反應,或氟石與石油焦在電爐里反應,或二氟二氯甲烷與氟化氫反 應,或四氯化碳與氟化銀反應,或四氯化碳與氟化氫反應,都能生成四氟化碳。四氯化碳與氟化氫的反應在填有氫氧化鉻的高溫鎳管中進行,反應后的氣體經水洗、 堿洗除去酸性氣體,再通過冷凍,用硅膠除去氣體中的水分,最后經精餾而得成品。
     
      2.預先稱取5~10g的碳化硅粉末和0.1g的單質硅粉,置于鎳盤中,使硅和碳化硅充分接觸后,將鎳盤放入蒙乃爾 合金反應管中,向反應管內通入氟氣,氟氣先和單質硅反應,反應放熱后,氟開始和碳化硅進行反應,通入等體積的干燥氮氣以稀釋氟氣,使反應繼續進行,生成氣 體通過液氮冷卻的鎳制捕集器冷凝,然后慢慢地氣化后,將其通過裝有氫氧化鈉溶液的洗氣瓶除去四氟化硅,隨后通過硅膠和五氧化二磷干燥塔得到最終產品。
     
      3.以活性炭與氟為原料經氟化反應制備。在裝有活性炭的反應爐中,緩緩通入高濃氟氣,并通過加熱器加熱、供氟速率和 反應爐冷卻控制反應溫度。產品經除塵,堿洗除去HF、CoF2、SiF4、CO2等雜質、再經脫水可獲得含量約為85%的粗品。將粗品引入低溫精餾釜中進 行間歇粗餾,通過控制精餾溫度,除去O2、N2、H2,得到高純CF4。
     

     

     

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    應用領域

    四氟化碳產品用途


      四氟化碳是目前微電子工業中用量最大的等離子燭刻氣體,其高純氣及四氟化碳高純氣配高純氧氣的混合體。

      1. 可廣泛應用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢薄膜材料的燭刻。對于硅和二氧化硅體系,采用CF4-H2反應離子刻蝕時,通過調節兩種氣體的比例,可以獲得45:1的選擇性,這在刻蝕多晶硅柵極上的二氧化硅薄膜時很有用。

      2. 在電子器件表面清洗、太陽能電池的生產、激光技術、氣相絕緣、低溫制冷、
    泄漏檢驗劑、控制宇宙火箭姿態、印刷電路生產中的去污劑等方面也大量使用。

      3. 由于化學穩定性極強,CF4還可以用于金屬冶煉和塑料行業等。

      4. 四氟化碳的溶氧性很好,因此被科學家用于超深度潛水實驗代替普通壓縮空氣。目前已在老鼠身上獲得成功,在275米到366米的深度內,小白鼠仍可安全脫險。

     

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